En optisk wafer är en tunn, parallellsidig platta av glas, smält kvarts eller safir som har lappats och polerats tills båda ytorna möter toleranser för tjocklek, planhet och ytkvalitet på mikronnivå. Den sitter längst fram i konstruktionen för bildsensorer, filterstaplar, vågledare och optiska arrayer på wafer-nivå, där några mikrometer av total tjockleksvariation kan skifta fokus, förvränga en vågfront eller pressa en beläggning som går ur specifikationen.
De flesta projekt når denna kategori med tre frågor bifogade: vilket material, vilka toleranser och vilken leverantör kan hålla dessa toleranser över en produktionsserie istället för på ett polerat prov. Avsnitten nedan följer den ordningen.
Vad som exakt räknas som en optisk wafer
I inköpstermer är en optisk wafer ett rent eller belagt optiskt substrat som tillhandahålls i ett runt, kvadratiskt eller anpassat konturformat, med dimensions- och ytkrav skrivna på ritningen snarare än antydda av ett materialnamn.
En optisk wafer är ett tunt, plant substrat, vanligtvis 0,3 mm till 3 mm tjockt, tillverkat av glas, smält kvarts eller safir och bearbetat till en specificerad total tjockleksvariation, planhet och ytjämnhet. Det fungerar som det optiska eller strukturella basskiktet för en enhet, inte som en färdig monterad komponent.
Den distinktionen förändrar citat. Ett optiskt fönster är normalt tjockare, monteras ofta i en ram och säljs som en färdig del. En wafer är tunnare, hanteras i kassetter eller gelförpackningar och rör sig ofta genom nedströmssteg som beläggning, limning, tärning eller litografi. Leverantörer som bearbetar fönster väl håller inte automatiskt wafertoleranser, eftersom tunna delar avböjs under poleringstryck och förlorar snabbt planheten.
Jämförde optiska wafers av glas, kvarts och safir
Välj materialet efter våglängdsband först, sedan efter den termiska och mekaniska miljön, sedan efter kostnad.
| Egendom | Borosilikatglas | Smält kvarts | Safir |
| Användbar överföring | 350 - 2000 nm | 185 - 2500 nm | 150 - 4500 nm |
| Mohs hårdhet | 5.5 | 7 | 9 |
| CTE (ppm/K) | 3.3 | 0.5 | 5,3 - 8,7 |
| Brytningsindex vid 589 nm | 1.47 | 1.46 | 1.77 |
| Motståndskraft mot termisk stöt | Måttlig | Hög | Mycket hög |
| Typisk wafertjocklek | 0,5 - 3,0 mm | 0,3 - 6,0 mm | 0,3 - 2,0 mm |
| Indikativ relativ kostnad | 1x | 3 - 5x | 8 - 15x |
| Gemensam passform | Displayer, sensorer, allmän synlig optik | UV-optik, halvledarprocess, högtemperaturarmaturer | IR-fönster, avkänning av hårda miljöer, slitytor |
Sapphire tjänar sitt pris i infraröda och abrasiva miljöer, inte i det synliga bandet. Om ett system fungerar mellan 400 nm och 1000 nm, aldrig ser en termisk cykel över 150 C och inte utsätts för aggressiv renrumskemi, gör glas eller kvarts vanligtvis samma optiska jobb för mycket mindre. Safir blir det billigare alternativet i det ögonblick ett repat eller etsat fönster stoppar en produktionslinje.
Anpassade safirskivor för tuffa optiska och substratanvändningar Där exponering för infraröd, slipande eller hög temperatur gör glas eller kvarts otillräckligt, ger dessa anpassade safirskivor hårdhet, kemisk beständighet och elektrisk isolering. Visa produkt → Smält kvarts är inte ett material. Optiska kvaliteter skiljer sig i OH-halt, bubbelklass och indexhomogenitet, medan halvledarkvaliteter lägger till snäva gränser för metalliska föroreningar. Att specificera kvarts utan en kvalitet, en transmissionskurva och en inklusionsklass är en av de vanligaste anledningarna till att en första leverans inte klarar inkommande inspektion.
Specifikationer att låsa före beställning
Fem siffror avgör om en wafer kommer att bete sig i ditt system: tjocklek, tjocklekstolerans, total tjockleksvariation, planhet och ytjämnhet, med skrap-grävning tätt bakom.
- Tjocklek och tolerans. Kommersiellt arbete går på /- 0,05 mm, precision på /- 0,025 mm, och små delar kan hållas till /- 0,01 mm.
- Total tjockleksvariation. Spalten mellan den tjockaste och tunnaste punkten. Det driver vågfrontsfel, beläggningslikformighet och fokusskiftning över en array på wafer-nivå.
- Flathet. Rapporteras i vågor vid 633 nm, där en kvartsvåg motsvarar ungefär 158 nm avvikelse. Ange alltid mätbländaren, eftersom ett värde som tagits över 80 procent av diametern är ett svagare anspråk än ett tal med full bländare.
- Ytjämnhet. Ra sätter spridnings- och laserskadtröskel. Standardpolering landar nära 0,5 nm; superpolerade ytor når 0,2 nm och lägre med längre cykler.
- Skrapa-gräva. Bildtexter som 60/40, 40/20 eller 10/5 definierar tillåtna repor och gropar. Åtdragning från 40/20 till 10/5 kostar ofta mer än tolerans för åtdragningstjocklek.
- Parallellism, kant och beläggning. Kilar är viktiga för etaloner och stråldelare, kantspånmaterial för kassetthantering och beläggningsvidhäftning för allt som rengörs upprepade gånger.
Skriv ner hur varje nummer ska mätas. En ritning som säger att polish av hög kvalitet lämnar leverantören att leverera sin egen standard, och argumentet sker då vid inkommande besiktning istället för vid offert.
Hur optiska wafers tillverkas
Varje wafer rör sig genom materialberedning, formning, lappning, polering, rengöring och mätning, och varje steg kan bara ta bort det som det föregående steget lämnade efter sig i en förutsägbar takt.
- Materialberedning. Glasskivor, kvartsgöt eller safirkristaller skärs eller kärnar ur till grova ämnen. Glödgningstillstånd och inre spänning bekräftas före bearbetning, eftersom spänningar som släpps senare visar sig som båge.
- Formning. Kärnborrning, CNC-konturering eller laserskärning producerar konturerna och lämnar lager för lappning. Hål och slitsar skärs i detta skede.
- Lappning och finslipning. Tar bort sågskador och etablerar parallellitet. Avverkning per sida beror på delstorlek och kan överstiga 100 mikron.
- Putsning. Pitch eller pad polering, enkel- eller dubbelsidig, ställer in planhet och grovhet. En batch kan köras i timmar, och armaturens design är ofta viktigare än slurryn.
- Rengöring. Ultraljuds- och rengöringsmedelssteg, avjoniserad sköljning och kontrollerad torkning förhindrar vattenmärkning och rester som senare blir en beläggningsdefekt.
- Metrologi. Interferometri för planhet, vitt ljus eller stylusinstrument för grovhet, spektrofotometri för transmission och mikroskopi för skrapgrävning och kantspån.
- Förpackning. Renrumspåsar, waferbärare och kantskydd avgör om en bra wafer kommer fram i användbart skick.
Anpassade högprecisionskvartsskivor för optiska och halvledarapplikationer Dessa kvartsskivor kombinerar låg termisk expansion och hög transmission för PLC, MEMS, fotonik och halvledararbete där lappning, polering och planhet kontrollerar. Visa produkt → Planhet är en processförmåga, inte ett sorteringssteg. Att flytta en 100 mm del från halvvåg till kvartsvåg kan fördubbla poleringstiden och kräva ny fixtur, varför priset inte skalas linjärt med tolerans. HLL:s anteckningar om hur planhet kontrolleras under tillverkning av optiska skivor täcka mätsidan mer i detalj.
Där optiska wafers används
Optiska wafers dyker upp varhelst en enhet behöver ett platt, stabilt, transparent basskikt: bildsensorer, LiDAR-banor, halvledarprocessverktyg, infraröda fönster och display- eller belysningssystem.
Halvledare och fotonik
Kvartsskivor fungerar som bärare, substrat och optiska element i litografi- och inspektionsutrustning, där renhet och låg metallisk kontaminering spelar lika stor roll som planhet.
Avkänning och avbildning
Täckskivor för CMOS-sensorer, filterstaplar och optiska arrayer på wafer-nivå beror på enhetlig tjocklek, eftersom variation över wafern blir fokalförskjutning från form till matris.
Infraröd och tuffa miljöer
Sapphire betjänar infraröda laserfönster, värmebilder och industriell avkänning där nötning, kemisk exponering och termisk cykling skulle skada glaset.
Glaswafers har det bredaste utbudet av volymapplikationer, från kameramoduler och beröringsavkänning till ljusdiffusorer och mikrofluidbärare, eftersom materialet är billigt och poleringsprocessen är väletablerad.
Arrayenhetlighet är det dolda kravet. När en wafer bär hundratals linser eller filter är konsistens över hela delen viktigare än det bästa värdet uppmätt i mitten, och avkastningsförlusten visar sig vanligtvis vid montering snarare än vid inkommande inspektion.
Överväganden vid inköp, kvalitet och leverans
Kvalificera processen snarare än broschyren: be om kapacitetsdata om exakt material, format och toleranskombination du köper, och behandla certifikat som en baslinje snarare än som bevis.
Signaler från en duktig leverantör
- Kapacitetsstudier på jämförbara delar, inte ett enda bästa prov
- Intern lappning, polering och mätteknik snarare än endast montering
- Namngiven råvaruklass med partispårbarhet
- Inspektionsdata levereras med delarna
- En skriftlig process för ändringsmeddelande
Varningsskyltar
- Alla toleranser accepteras utan diskussion om poleringsgränser
- Planhet citerad utan en bländare eller våglängd
- Ingen interferometer eller grovhetsmätning på plats
- Prover polerade för hand medan produktionen är outsourcad
- Inget svar på förpackning, kantskydd eller renhetsklass
När det gäller dokumentation är ISO 9001 och ISO 14001 den vanliga baslinjen, och IATF 16949 blir relevant när wafern matar ett bilprogram. Medicinska köpare och halvledarköpare lägger normalt till RoHS- och REACH-deklarationer plus en renhetsdeklaration. Ledtiden följer också toleransen: runda standardskivor i glas och kvarts skickas vanligtvis inom två till tre veckor, medan anpassade konturer med slitsar eller hål och godkännande från första artikeln vanligtvis löper fem till åtta veckor.
Den billigaste skivan är den som klarar inkommande inspektion vid första leveransen och den tionde, med samma inspektionsdata bifogade varje gång.
Om ritningen fortfarande är öppen, skicka materialet, formatet och måltoleranserna till ingenjörsteamet och be om ett kapacitetsuttalande mot varje rad innan beställningen görs.
Vanliga frågor
Vad är skillnaden mellan en optisk wafer och ett optiskt fönster?
En wafer är tunn, vanligtvis under 3 mm, hanteras i kassetter och används som basskikt för vidare anordningsbearbetning. Ett fönster är tjockare, normalt monterat i en ram eller ett hus, och säljs som en färdig transmissiv eller skyddsdel. Båda kan använda samma material och liknande ytfinish.
Vilka storlekar och tjocklekar är realistiska?
Runda wafers har en diameter från 25 mm till 200 mm och fyrkantiga paneler når ungefär 300 mm på en sida. Tjockleken beror på material: glas och safir sitter vanligtvis mellan 0,3 mm och 3 mm, medan kvarts kan bli tjockare för strukturell användning. Under 0,3 mm blir båge, kantflisning och hantering de begränsande faktorerna snarare än polering.
Hur väljer jag mellan glas, kvarts och safir?
Börja med våglängdsbandet, lägg sedan till den termiska och mekaniska miljön och tillämpa sedan kostnaden. Glas täcker det synliga området ekonomiskt, smält kvarts sträcker sig in i ultraviolett ljus och håller formen genom termisk cykling, och safir täcker det infraröda plus slipande eller kemiskt aggressiva miljöerna.
Vilken planhet kan en leverantör hålla i volymproduktion?
På 50 mm till 100 mm delar i glas eller kvarts är en kvartsvåg vid 633 nm ett rutinmål för en erfaren polerare, och en tiondels våg kan uppnås på utvalda delar till priset av längre cykler och lägre utbyte. Be om fördelningen över en batch istället för det bästa enskilda resultatet.
Matcha materialet med våglängdsbandet, fixa de fem nyckelsiffrorna på ritningen och kvalificera poleringsprocessen innan du förhandlar om priset.











苏公网安备 32041102000130 号